技术编号：2774925
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于曝光装置，尤其是关于通过空间光调制元件，按照图像数据，以光调制束对感光材料进行曝光的曝光装置。背景技术 以前提出了种种曝光装置，利用空间光调制的元件，按照图像数据，以光调制束对图像曝光的曝光装置，例如，液晶制造装置中使用的光掩模曝光装置和印刷线路板制造用的曝光装置等。作为空间光调制元件，使用数字·微型镜·器件(DMD)的曝光装置，例如，如图9(A)所示，由照射激光的光源1，将光源1射出的激光形成准直的透镜系统2、大致配置在透镜系统2的焦点处的D...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。