光学元件制造方法、光学元件、尼普科夫盘、共焦光学系统以及三维测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2775676

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本发明涉及一种可以用作确保反射噪声衰减量的掩模等的光学元件、在制造该光学元件中可采用的制造方法、代表该光学元件应用例子的尼普科夫盘以及共聚焦光学系统和具有该尼普科夫盘的三维测量装置。背景技术 在相关领域已经提出使用具有以径向螺旋形式形成在遮光件(例如,铬薄膜)上的许多针孔的尼普科夫盘,该遮光件形成在共聚焦显微镜中的盘状玻璃基质的一侧上。在这种共聚焦显微镜中,照明光源通过旋转该尼普科夫盘被扫描在被检查的样品上。在相关领域采用一种已知的技术(见专利参考文件1)...
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