技术编号：2776119
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，更具体地说，本发明的可以形成不同厚度的微型镜面和致动元件的双级结构，以便于制造加工。更进一步，本发明中的可以缩短光通路，从而提高了集成度和整体的光传输性能。背景技术 在本领域众所周知的是，矩阵光学开关(M-OSW)是光通讯技术的核心元件。矩阵光学开关具有由N个输入端和N个输出端组成的矩阵，通过该矩阵，从某个输入端输入的光信号的路径被改变到想要的输出端。直到现在，在把光信号送到输出端之前，这种类型的光学开关是把通过输入端的输入光信号转换成电信...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。