技术编号：2776296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,对准方法，计算机程序，光刻装置和器件制造方法本发明涉及一种光刻投影装置，其包括-用于提供辐射投影光束的辐射系统；-用于支撑构图装置的支撑结构，所述构图装置用于根据所需图案使投影光束进行构图；-用于保持基底的基底台；-用于将带图案的光束投影到基底的靶部上的投影系统；和-用于检测参考标记和所述基底标记之间对准的对准系统，其利用辐射对准光束和前到后侧侧(front-to-backside)对准光学装置检测。背景技术 这里使用的术语“构图装置”应广义地解释为能够...
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