技术编号：2776338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及是超分辨技术，特别是一种在横向和轴向均能突破衍射极限实现超分辨的位相型三维超分辨的共焦系统。它可以广泛的应用于光学成像系统和光束聚焦系统中。背景技术 随着信息存储、处理和传输量要求的日益增加，在微电子加工、光刻技术、扫描显微技术和高密度光盘存储中都希望获得更小的聚焦光斑。这就要求更短的激光波长和有更高数值孔径的聚焦物镜，因为聚焦光斑的半高宽可表示为D=λ2NA,]]>式中λ为入射的激光光束波长，NA为聚焦物镜的数值孔径...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。