技术编号：2777026
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用固浸透镜观察试料的观察方法及固浸透镜。背景技术 固浸透镜(SILSolid Immersion Lens)作为对来自成为观察对象的试料的光像进行扩大的透镜已被公知。SIL是半球形状或被称为维尔斯特拉斯(Weierstras)球的超半球形状的透镜。将该SIL设置成粘附在试料表面时，可以扩大试料观察的开口数NA和倍率，可以进行高空间分解能力的观察(参照特公平7-18806号公报、和特开2002-189000号公报)。发明内容关于SIL，被认为在上...
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