技术编号：2777240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜的制造方法和溅射装置，尤其涉及用于通过进行溅射而在基板上形成具有所希望的光学特性的薄膜的薄膜制造方法和溅射装置。背景技术 以往，为了设计某产品组所要求的光学分光特性，尝试了使用自然界中的有限的物质来设计光学薄膜。但是，当使用这样有限的物质来设计光学薄膜时，设计变得复杂，并且难以获得具有任意光学特性的薄膜。因此，需要得到具有任意折射率和衰减系数的物质，即，自然界中不存在的物质。例如，为了构成宽带防反射膜，需要自然界中几乎不存在的具有中间折射率(...
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