制造多层光学元件的方法技术资料下载

技术编号:2777339

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本发明涉及一种对通过层叠由具有不同折射率的物质组成的薄膜而形成的多层膜光学元件进行制造的方法。背景技术 通过层叠由具有不同折射率的物质组成的薄膜并利用在这些薄膜的边界处反射的光的干涉的具有特定光学特性如滤光的光学元件被认作是一种多层膜光学元件,并用在干涉滤光片等中。这种多层膜光学元件具有如下结构,在该结构中,具有不同折射率的非金属光学物质的薄膜相继叠加在由玻璃等组成的基底上,并且一般通过真空蒸发在玻璃等组成的基底上相继形成这些非金属光学物质的膜而形成这种多...
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