技术编号：2777367
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及微机电(microelectromechanical)系统，更特别地，涉及微镜，该微镜具有用于增强微镜与静电场的耦合的机构。背景技术 空间光调制器(SLMs)是响应于一个光或电输入以空间的方式调制入射光束的传感器。可以从相位、强度、偏振、或方向方面来调制入射光束。这种调制可以通过使用各种材料来完成，这些材料呈现出磁光性质、电光性质、或弹性。SLMs具有很多用途，包括光学信息处理、显示系统、和静电印刷。Nathanson在美国专利No.3,7...
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