具有隐藏铰链的高填充率反射式空间光调制器的制造技术技术资料下载

技术编号:2777420

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本发明涉及空间光调制器(SLM),更具体而言,本发明涉及具有隐藏铰链以使象素填充率最大化、散射和衍射最小化并获得高对比度和高图像质量的微反射镜结构。背景技术 空间光调制器(SLM)在光学信息处理、投影显示器、视频和图形监视器、电视以及电子照相印刷领域有大量应用。反射式SLM是这样的器件,其对空间图样中的入射光进行调制以反射与电或光输入相对应的图像。可以在相位、强度、偏振态或偏转方向等方面对入射光进行调制。反射式SLM通常包括能够反射入射光的可寻址图像元件(...
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