技术编号：2777817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检查影像装置中图形的不匀缺陷，或检查用于制造影像装置图形的光掩膜中图形不匀缺陷的图形的不匀缺陷检查方法和图形的不匀缺陷检查装置。背景技术 现有的摄像装置和显示装置等影像装置或是用于制造它们的光掩膜，作为在表面上形成的图形的检查项目有不匀缺陷检查。不匀缺陷是在有规律排列的图形上不经意产生的具有不同规律性的错误，是在制造工序中由某些原因而产生的。若在摄像装置或显示装置中存在有不匀缺陷，则有可能产生灵敏度不匀和显示不匀而使装置性能降低。即使是在制造摄像...
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