技术编号：2777916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。0001本发明一般涉及光学处理装置，更具体地，涉及一种。背景技术0002数字微镜装置(DMD)能够用于光通信和/或投影显示系统。DMD包括微镜阵列，所述微镜阵列通过在活动的“开”和“关”状态之间绕枢轴转动来选择性地传递至少一部分光信号或光束。为了允许微镜绕枢轴转动，每个微镜均被附连于安装在一个或多个支柱上的铰链，所述一个或多个支柱联接于CMOS衬底。在微镜和支柱之下，过去常用CMOS衬底控制DMD微镜的运动。令人遗憾的是，当微镜处于“关”状态，具有光学反射...
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