技术编号：2778984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向例如在液晶显示器(以下称为LCD)的玻璃基板、半 导体晶片、印刷基板等上产生的缺陷部照射激光来进行维修的维修方法 及其装置。背景技术在LCD制造工序中，进行针对在光刻(photolithography)处理工序 中所处理的玻璃基板的各种检查。作为该检查结果，当在形成于玻璃基 板上的抗蚀剂图形或蚀刻图形中检测出缺陷部时，对该缺陷部照射激光 来进行缺陷部的维修。作为维修方法，例如有分别记载于专利文献1和2中的技术。在专利文献1中记载有如下的技术将从...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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