技术编号：27796773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型系有关一种输送装置，尤其是一种基板制程输送系统。背景技术.现今社会，电子产品无所不在，其需求量自系有增无减，进而刺激电子制造业的发展，以致业者彼此间的竞争，亦趋炽烈，为提高竞争力，优化生产制造的效率，即成为企业经营的重要事项。而电子产品所需使用的基板，其输送效率如何，则与生产制造效率的提升，休戚相关。请参阅图a与图b，其为习知基板输送装置，如图a所示，机台b上，基板sh由输入位置p，往第一位置p传输，并经放置在载台a上，制程装置p继的对基板sh进行制程作业。于该制程作业...
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