技术编号：2780834
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光阻涂布设备和方法，具体地，涉及一种可控制微粒数量的光阻涂布设备和方法。背景技术 目前一般应用于大尺寸液晶面板制作过程的光阻涂布设备，如图1a所显示的，是利用一光阻涂布装置10，以扫描的方式朝一第一方向x移动，将光阻2均匀喷洒涂布于基板1的表面。参照图1b，光阻涂布装置10包括喷头11，喷头11中央具有一狭缝12，而光阻(剂)2即从该狭缝12之间喷洒而出。这种类型的设计已见于东京应化工业(TOK)等公司所提供的光阻涂布设备之中。在光阻涂布制作...
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