微小图案修正装置及微小图案的缺陷修正方法技术资料下载

技术编号:2781032

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本发明涉及,尤其是,涉及对形成于基板上的微小图案的缺陷进行修正的。背景技术 可能发生于用于液晶显示装置(LCD)中的滤色元件的缺陷可分为缺色缺陷、黑色缺陷及突起缺陷3大类。缺色缺陷为某像素中未附有所定的颜色的缺陷。黑色缺陷为像素中形成不透过光线的黑色部分的缺陷。作为黑色缺陷的原因有,黑底(black matrix)材料侵入像素部分、某像素的颜色侵入相邻的像素使颜色相混而形成混色、像素上有异物附着等。突起缺陷为由异物附着、墨水中的气泡等而产生突起的缺陷。作为...
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