液滴涂布方法、液滴涂布装置、电光学装置和电子仪器的制作方法技术资料下载

技术编号:2781052

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本发明是关于液滴涂布方法、液滴涂布装置、电光学装置和电子仪器。背景技术 近年来,作为电子装置制造工序中使用的涂布技术,其趋势是液体喷出方式得以扩大应用。利用液体喷出方式的涂布技术,一般是使基板与液体喷出的喷头作相对移动,液状体以液滴形式从设在液体喷头上的多个喷嘴喷出,使其液滴重复地附着在基板上,形成涂布膜,与旋转涂布方式等以前的涂布技术相比,液体消耗中浪费极小,其优点是不使用光蚀刻等装置,可直接涂布任意的图案。另外,作为喷出液体以在基板涂布的方法,以柱状喷...
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