技术编号：2781055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于薄膜晶体管的硅膜的结晶方法和制造使用上述方法的显示设备如液晶显示器或有机EL显示器的方法，尤其是涉及一种均匀多晶硅膜的结晶方法，用于获得在基板表面中具有均匀特性的薄膜晶体管。背景技术 作为使薄膜晶体管的硅膜结晶的常规方法，公知的方法是，在约600℃的高温下、通过退火几小时对形成于玻璃基板上的非晶硅膜进行脱氢处理，然后在一个方向上用直线束状的脉冲激光对得到的非晶硅膜进行(照射)扫描以使其结晶。例如，在非专利文献，TechnicalRepor...
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