技术编号：2781131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及恰当地使用于在薄膜晶体管液晶显示装置(Thin FilmTransistor Liquid Crystal Display)的制造中所用的薄膜晶体管基板(以下称为TFT基板)的灰色调掩模的制造方法。背景技术 TFT-LCD与CRT(阴极射线管)相比，由于有容易形成为薄型及功耗低的优点，目前在商品化方面正急剧地取得进展。TFT-LCD具有在排列成矩阵状的各像素上排列了TFT的结构的TFT基板以及与各像素对应地排列了红、绿和蓝的像素图形的滤色层在介入...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。