技术编号：2782366
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种再生及循环利用碳酸酯(carbonate)类有机溶剂的有机溶剂再生系统，所述碳酸酯(carbonate)类有机溶剂用于去除制造平板显示器用基板的过程中成形于基板上的感光薄膜。背景技术 一般情况下，用于平板显示器(Flat Panel Display)、半导体晶板、液晶显示器光掩膜玻璃等领域的基板，要经过光致抗蚀涂覆(Photoresist coatingP/R)、曝光(Expose)、显影(Develop)、蚀刻(Etching)、剥离(St...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。