技术编号：2782615
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平版印刷设备和方法。 背景技术 平版印刷设备是一种将一个所要图案应用到一衬底(通常为该衬底的一个目标部分)上的机器。平版印刷设备例如可以用于制造集成电路(IC)。在那种情况下，可以使用一个或者称为掩模或刻线板的图案形成装置来产生形成于集成电路的单个层上的电路图案。该图案可以转移到衬底(如硅片)上的目标部分(例如包括一个或若干个模具的一部分)上。图案的转移通常通过成像到设置于衬底上的一层辐射敏感材料(抗蚀剂)上而完成。通常，单独一个衬底将包含被相继...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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