图案及配线形成方法、半导体装置、tft器件、电光学装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2782617

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本发明涉及由液滴喷出方式形成微细的图案的图案形成方法、配线形成方法、半导体装置、TFT器件、电光学装置及电子仪器背景技术以往,作为由液滴喷出方式形成对于基板表面具有密接性而且细线化的配线的方法有专利文献1公开的方法。根据该方法,在向基板喷出导电性功能液形成配线之前,首先,使基板表面进行疏液化处理。然后向基板喷出用于形成对于基板和导电性功能液具有密接性的中间层的材料液。由于基板具有疏液性,可以抑制喷出后的扩散,所以可以使材料液形成细线。只要将导电性功能液喷到...
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