技术编号：2782698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光诱导纳米结构，特别是一种，是一种在空气中采用两束超短脉冲激光共路垂直照射在材料表面形成周期纳米结构的加工方法。本方法适用于在半导体、透明介质块体和薄膜表面诱导规则的周期结构，制备纳米量级光栅。背景技术 超短脉冲激光加工是一种很有前景的材料加工手段。超短脉冲能够在局部聚集很高的能量，同时产生很小的热效应，非常有利于材料的精细加工，对于一些硬脆及耐腐蚀材料的加工尤其适用。在现有技术中，目前人们主要采用全息方法刻蚀光栅。人们用两束同频率、斜交叉的激...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。