技术编号：2782749
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。更详细地说，涉及一种例如从液晶及半导体制造工厂的抗蚀剂剥离工序所排出的废液中回收溶剂的装置及方法。背景技术 在半导体工厂及液晶显示器工厂的抗蚀剂层剥离工序中，将单乙醇胺(monoethanol-amine，以下简称MEA)与二甲基亚枫(Dimethyl Sulfoxide，以下简称DMSO)，以既定的比率混合的溶剂作为抗蚀剂树脂的剥离液，以及MEA与乙二醇单丁醚(diethylene glycol monobuthyl ether，以下简称...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。