技术编号：2783493
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种显影系统，特别是关于一种能控制显影液中光阻浓度的显影系统。背景技术在显影制作工艺中，显影液中的光阻成分(在显影过程中从光阻图案上所洗出的光阻材料)与显影液的显影效果有直接的关系。当显影液中的光阻浓度过低时，显影液的显影效果会降低，而无法准确的显影出光阻图案。由于每道制作工艺之中所需处理的光阻图案均不尽相同，且由于显影液中的光阻成分来自于显影过程中从光阻图案上所洗出的光阻材料，因此，不同制作工艺中的显影液光阻浓度会随着光阻图案的不同而变化。例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。