技术编号：2783765
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基于MEMS芯片技术的2×2光开关，属于光开关。背景技术微机电系统(MicroElectroMechanical System，MEMS)中，基于MEMS芯片技术的光开关较为重要的光无源器件，在光通讯网络系统中可对光信号进行通断的切换。光开关有着广阔的市场前景，是最具发展潜力的光无源器件之一。现有的光开关大多是2×2的光开关，而且都是基于反射式的，即通过将移动反射镜来实现光路的切换。当光开关开启时，如图1所示，两光纤准直器的出射光经反射镜...
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