技术编号：2783847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高密度光栅的制作方法，属于光学器件的制造、光测力学。背景技术 转移或直接刻蚀在被测物体表面的光栅作为物体表面变形信息的载体，在光测力学领域中是几何云纹法、云纹干涉法、电镜云纹法和网格法中进行物体表面变形测量的基本元件。目前较为成熟的光栅的制作方法主要有机械刻划法、全息光刻法。机械刻划是制作光栅最传统的方法，该方法利用刻纹机在光栅材料表面刻划出一条一条的沟槽，这种方法对刻纹机的机械精度提出了很高的要求。而且机械刻划法不仅费时、制作成本高，而且所...
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