技术编号：2783891
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种基于聚合物分散液晶材料的MEMS液晶光衰减器阵列及该液晶衰减器阵列的制作方法。背景技术 光衰减器是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件。目前光衰减器的市场潜力大，在无源器件中，其产量仅次于连接器、耦合器等。随着宽带光通信网络，特别是全光网络的迅速发展，为保证通信质量，在光网络中有必要在节点对每个波长的光功率进行均衡，可变光衰减器就是其中重要的一种解决方案。目前已形成固定式、步进可调式、连续可调式以及智能型光衰减器四种系...
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