集成窄带滤光片的制作方法技术资料下载

技术编号:2785534

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本发明涉及光学滤光片,具体是指一种可利用半导体成熟工艺制备的,非常有利于与传感器件集成的窄带滤光片。背景技术 多光谱信息获取技术已在航空、航天领域中得到广泛应用。分光技术是多光谱信息获取技术中的一个重要环节,传统的分光方法主要有旋转光栅、棱镜和滤光片转轮的时间分解方法,以及光栅棱镜和分束滤光片的空间分解方法。如果采用时间分解方法,则涉及机械传动装置,当用于空间时一旦机械装置出现故障就很可能导致整个仪器失效。如果采用光栅、棱镜等空间分解方法,则相应的仪器将占...
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