自增感负性聚酰亚胺光敏材料及其制备方法技术资料下载

技术编号:2785689

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本发明属于一种功能高分子材料及其制备方法,特别是具有紫外光敏性能的。背景技术聚酰亚胺是一类具有优良的热稳定性、化学稳定性、介电性能和机械性能的高性能聚合物材料,在航天工业和微电子工业等现代高有非常重要的应用。例如在微电子制造工业中用作各类器件钝化保护和层间介电等。在这些方面的应用中,聚酰亚胺层必须形成微细的联接通孔或窗口。采用传统的非光敏性的聚酰亚胺需要通过非常复杂繁琐的工艺过程如离子刻蚀或涂感光层。目前应用广泛的聚酰亚胺是具有光敏性的聚酰胺酸前聚体,先光...
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