技术编号：2786694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如液晶装置等的电光装置的制造方法和该电光装置以及例如液晶投影机等的电子设备。背景技术 在这种电光装置中，显示用电极和驱动该电极的扫描线、数据线等布线及电子元件相互以层间绝缘膜介于中间层叠在基板上。当电光装置采用有源矩阵驱动方式时，在基板上形成有像素开关用的薄膜晶体管(ThinFilm Transistor以下称为“TFT”)。其中，在高温工艺型多晶硅TFT中，热氧化栅极绝缘膜的形成需要1000℃以上的热处理。因此，层间绝缘膜基本上要求耐热性，例...
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