有源器件的组件的制作方法技术资料下载

技术编号:2786908

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本发明涉及诸如开关、移相器、调制器、衰减器等光电器件的封装。具体而言,本发明涉及有源器件。针对本发明的目标,有源器件是具有用电信号改变在其上所形成波导中传播的光信号之特性(如强度、相位、方向)的特征的器件。所述用于有源器件的电信号常在微波范围中,从几百MHz到若干GHz,是典型的通信范围。所述有源器件是电信器件,包含诸如铌酸锂、钽酸锂等晶态材料制成的芯片,并通过例如钛扩散在晶态材料的表面形成光波导。然后,最好在芯片的相同表面上形成电极,提供电信号,以执行切...
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