技术编号：2787034
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平板显示器件，具体涉及用于制造平板显示器件的方法和设备。背景技术 近几年，显示视觉信息的显示设备的重要性逐渐提高。过去，阴极射线管使用非常广泛。但是，阴极射线管重量和体积都太大。液晶显示(LCD)器件、场致发射显示(FED)器件、等离子显示板(PDP)和电致发光(EL)器件都是市场上能够得到的薄型平板显示器件。液晶显示器件很轻而且其大规模生产能力在不断提高。因此，液晶显示器件在很多领域很快取代了阴极射线管。利用薄膜晶体管(以下称为“TFT”)来驱...
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