干涉图变倍无畸变采集装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2787787

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专利说明 一、本实用新型涉及一种干涉图采集装置,特别是一种干涉图变倍无畸变采集装置。二背景技术传统的光学干涉仪主要通过目视观察干涉图,或者附加照相光路拍摄干涉图。经过几十年的演变,传统的干涉仪,不论是斐索型还是泰曼型干涉仪,仍在工厂、科研院所广泛使用,它们具有简单、直观等优点,但缺点也很明显,已经满足不了研究人员和工业化生产快速、智能化、高精度的测试需求,缺点主要表现在(1)目视估测精度低,受操作人员经验因素影响大;(2)照相分析进行定量检测花费时间长、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

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