硅基液晶显示芯片的像素单元存储电容器的制作方法技术资料下载

技术编号:2787819

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本实用新型涉及一种存储电容器,特别是用于集成电路中LCOS芯片像素单元的存储电容器,属于信息科学技术学科的微电子应用。背景技术近年,液晶显示器在显示质量、大尺寸和高解析度方面都有了飞跃的发展,较热门的技术是硅基液晶显示器(Liquid Crystal on Silicon,简称LCOS,又称为CMOS-LCD),这是一种新型的反射式微型LCD显示技术,它首先在单晶硅片上运用LVSI工艺制作驱动基板——LCOS芯片,然后镀上金属层当作反射镜形成CMOS基板,...
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