技术编号：2788733
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于在微光刻投射曝光装置中的光学布置(optical arrangement)。背景技术微光刻用于产生微结构组件(microstructured component),示例如集成电路 或液晶显示器(LCD)。微光刻工艺实施于所谓的投射曝光装置中，该装置具有照明系统(illumination system)和投射物镜(projection objective)。在这种状况下,利用照明系统照明的掩模(mask)(=掩模母版(reticle))的像通过投射...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。