技术编号：2788742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抑制光学组件反射率的方法，该光学组件具有保持器和粘合地保持在该保持器中的涂层光学元件，该光学元件由紫外线(UV)可固化的粘合剂来保持。具体地说，光学元件上的涂层抑制将杂散光透射入粘合剂和将光背反射入光学元件。背景技术准分子激光器是微型平版印刷行业所选的照明源。高功率激光器的使用可劣化用 在激光光刻系统中的材料，例如，高功率激光器具有高于20mJ/cm2的脉冲能量密度(流量)和低于250nm (例如193nm及以下)的脉冲波长。粘合剂，例如紫外...
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