技术编号：2788818
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将被曝光体沿着一方向以恒定速度搬运并在被曝光体上配置的多个曝光区域的每一个上形成不同的曝光图案的曝光方法及曝光装置，详细而言，涉及要提高多种曝光图案的形成效率的曝光方法及曝光装置。背景技术以往,这种曝光方法将被曝光体沿着一方向搬运，并同时选择光掩模的一掩模图案组，通过该一掩模图案组在被曝光体的规定的曝光区域上曝光形成一曝光图案组，接下来，暂时使上述被曝光体返回到曝光开始前的待机位置之后，将光掩模的掩模图案组切换成另一掩模图案组，然后，再次开始被曝...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。