技术编号：2788961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于在微光刻中使用的分面反射镜引用德国专利申请DE 10 2010 001 388. 9的在其全部范围内的内容。本发明涉及用于在微光刻中使用的分面反射镜。此外，本发明涉及包含该类型的至少一个分面反射镜的、用于照明物场的、用于微光刻的照明光学单元，包含该类型的照明光学单元的照明系统，包含该类型的照明系统的投射曝光设备，用于设定该类型的投射曝光设备中的照明光学单元的方法，使用以该方式设定的投射曝光设备的用于制造微或纳米结构组件的方法，以及通过该类型的制造方法制...
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