单侧熔盐电场辅助离子交换制备掩埋式玻璃光波导的方法技术资料下载

技术编号:2789006

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本发明涉及光器件、集成光学领域,尤其涉及一种。背景技术 1969年,S.E.Miller提出了集成光学的概念,其基本思想是在同一块衬底的表面上,用折射率略高的材料制作光波导,并以此为基础再制作光源、光栅等各种器件。通过这种集成化,可以实现光学系统的小型化、轻量化、稳定化和高性能化的目的。作为一类重要的集成光学器件,采用离子交换法在玻璃基片上制作的光器件一直受到企业界和研究者们的重视。自上世纪70年代始,各国研究机构投入大量的人力和财力进行玻璃基集成光器件的...
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