隔膜促动微机电开关的制作方法技术资料下载

技术编号:2789357

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本发明涉及一种微机电系统(MEMS)开关,尤其涉及一种MEMS开关,其允许低电压(小于10V)受控促动(actuation),同时维持良好的开关特性,如隔离和低插入损耗。背景技术 无线通信设备正在变得越来越普及,由此,为具有给出最优性能和最小成本的技术的人们提供了巨大的商机。成功的无线通信设备以合理的成本提供纯净、低噪声的信号发送和接收,并且在便携式设备的情况下以低功耗工作从而使电池的寿命最大化。目前的产业焦点在于将无线通信所需的所有部件整体集成到一个集成...
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