大高宽比光子筛及其制备方法技术资料下载

技术编号:2789437

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本发明属于微电子和光学,尤其涉及一种。背景技术在能量很高的射线领域,只有吸收体的厚度达到一定的值才可以吸收相应射线, 所以制备大高宽比的衍射光学元件具有重要意义。在通常情况下,高宽比大于4的结构可以称作大高宽比结构器件。菲涅耳波带片是一种基本的衍射光学元件,图I为本发明现有技术菲涅耳波带片的结构示意图。而光子筛是基于菲涅耳波带片的一种新型的衍射光学元件。它将菲涅耳波带片上亮环对应的区域用大量随机分布的透光小孔来代替,小孔的直径为相应波带片环带宽度的I. 5...
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