技术编号：2789446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械构件。本发明同样涉及一种具有这种微机械构件的光学装 置。本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法和一种用于光学装置的制造方法。背景技术由US 6，404，313B2公开了一种微镜致动器，它设置在一壳体中，该壳体由两个在 微镜致动器两侧固定地键合的硅间隔保持件和两个键合在硅间隔保持件外侧面上的玻璃 衬底组成。为了形成壳体，首先通过执行第一和第二键合方法将两个玻璃衬底固定在各自 相应的硅间隔保持件上。以这种方式获得的结构接着通过执行第三和第...
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