技术编号：2790107
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于制造半导体装置、印刷电路板、或液晶显示器等时被当做除尘器使用的平版印刷用防护胶膜组件，尤其是，与液晶显示器制造所使用的大型防护胶膜组件相关。背景技术 LSI等的半导体装置或液晶显示器等的制造时，是利用对半导体晶圆或液晶用玻璃原板照射光来形成图案，然而，此时所使用的光罩或标线片(以下简称为光罩)若附着着灰尘，则该灰尘会阻隔光、或使光转向，而有转印的图案受损的问题。因此，相关作业通常是在无尘室内进行，然而，仍然难以随时都保持光罩的清净。因此，采用在光...
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