半导体膜及其制造方法及使用它的半导体器件与显示设备的制作方法技术资料下载

技术编号:2790302

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本发明涉及形成一种多晶半导体膜的一种方法,以及用这种方法制造的一种半导体器件和一种显示设备。更具体地,本发明涉及一种形成多晶半导体膜的方法,这种半导体膜具有少量的晶体缺陷,形成于非单晶的绝缘膜或非单晶的绝缘衬底上。该多晶半导体膜是通过给非晶半导体膜施加热能和光能(强辐射)进行制造的。而且,本发明涉及一种包括由该方法形成的多晶半导体膜的半导体器件,如液晶驱动器、半导体存储器、半导体逻辑电路等。本发明涉及包括这种半导体器件的显示设备。背景技术 传统上已经有通过...
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