技术编号：2790351
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及微机电系统(MEMS)及对此种系统的封装。更具体而言，本 发明的涉及干涉式调制器及使用薄膜背板制作此种调制器的方法。背景技术微机电系统(MEMQ包括微机械元件、激励器及电子元件。微机械元件可采用沉 积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电和 机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调 制器可包含一对导电板，其中之一或二者均可全部或部分地透明及/或为反射性，且在施 加一个适...
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