聚合物光波导的制法的制作方法技术资料下载

技术编号:2791519

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本发明涉及聚合物光波导的制法。 背景技术近年来,随着光通信、光信息处理、其他一般光学领域的增大,对用于将多个光学器件光学连接的光波导的需求在增高。作为这种光波导,一般采用如下聚合物光波导其使用聚合物材料形成芯(芯层),在该芯上形成由聚合物材料形成的外包层,在该芯下形成由相同材料形成的下包层。上述聚合物光波导的芯通常形成为在光波导的纵向(光路方向)上延伸的图案, 其宽度方向的截面形状形成为大致方形。另外,这种图案的芯通过使用紫外线固化性树脂等感光性树脂的光刻...
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