技术编号：2791993
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应用于光通讯、光计算、光传感和光学测量等领域的光子晶体分束器，特别涉及一种以SOI材料的光子晶体分束器结构，属于半导体光学。背景技术在过去半个世纪中，以硅为主导的微电子技术取得了举世瞩目的成就，大力推动了信息技术黄金时代的到来。硅在市场方面的垄断地位和在工艺方面的巨大优势，吸引着人们不断研发小型化、集成化的硅基光子器件，以实现大规模集 成的光子芯片。绝缘体上的娃(Silicon-on-Insulator, SOI)是一种独特的娃基材料体系，采...
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