一种光电子器件封装对准的单自由度微动平台的制作方法技术资料下载

技术编号:2792652

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本发明涉及一种制造不同规格的阵列光纤装置的微动平台,该微动平台可以用于组装多维高精度对准和封装的机械装置,且方法操作方便,应用广泛。背景技术光信息技术的发展推动着通信事业的进步,随着光纤通信和光纤传感技术的发展,光电子器件的制备成为了光信息技术进一步发展的关键。光电子集成器件的封装技术影响着光电子器件的可靠性,关键的封装工艺与封装设备可以大幅度的提高生产效率、保证器件的质量。现有的封装设备主要有全自动封装设备和手动封装设备两种,前者适用于大批量流水线生产,...
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