技术编号：2793345
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。所属领域本发明属于微光机电系统(MOEMS)领域，主要涉及微机电系统(MEMS)技术、微扭转镜制作技术、电容测量技术以及微加工技术等。背景技术微扭转镜与传统光束偏转元件相比，具有能耗小、微型化、易集成等优点，加之其在通信、消费电子、生物医药、军事国防等领域的应用不断扩展，逐渐成为光学MEMS领域研究的热点。静电梳齿驱动微扭转镜具有结构简单、单位能量密度大、转动角度大的特点，是未来最具商业化前景的微扭转镜形式之一。鉴于微扭转镜有着广阔的商业前景，特别是基于单...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。